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电子面板、半导体行业气态净化物AMC办理方案

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信息择要:
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随着半导体制程技能的飞速开展,芯片线宽曾经进入纳米级,响应的产品对半导体产品消费情况的要求越来越高,因而半导体干净室内AMC的控制尺度也进步了许多。
1、干净室新风控制:在MAU内加装化学过滤器,控制室外新风中的化学净化物;
2、干净室循环风控制:在FFU上方加装化学过滤器,控制整个干净室外部的气态化学净化物;
3、干净室机台控制:在消费机台上方加装化学过滤器,机台外部空间超干净度的气态净化物控制。
电子面板、半导体行业气态净化物AMC办理方案
电子面板、半导体行业气态净化物AMC办理方案

编号

使用园地

可选安装

功效

新风入口处

侧开式污染机组

去除内部情况进入干净室的AMC

空调机组内

HJ气相过滤器

去除内部情况和回风进入干净室的AMC

FFU处

HJ气相过滤器

去除送风历程进入干净室的AMC

干净室内

内循环污染安装

去除干净室内发生的AMC

回风段

HJ气相过滤器/侧开式污染机组

去除干净室回风段含有的AMC

 
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要害词: 半导体产业

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